关于普斯凯
合肥普斯凯新能源科技有限公司是一家专业从事新型钙钛矿太阳能电池研发、生产及销售的创新型高科技企业,光电产品研发和制造的创新型高科技企业。由合肥工业大学教授团队领衔,依托高校与研究中心,拥有丰富的研发经验、资深的工程经验。公司专注于高效稳定、大面积、低成本钙钛矿太阳能电池研究,在多种不同类型的电池均有相关技术储备,包括了钙钛矿多晶(反式、正式)电池、钙钛矿单晶电池、晶硅-钙钛矿叠层电池。公司下一步目标将致力于钙钛矿太阳能电池相关工艺及设备研发,努力打造成先进光伏企业。
技术方案
  • ALD
  • 磁控
  • 蒸镀
原子层沉积(ALD)是一种高精度涂层制备的技术,可以在原子水平上实现薄膜的均匀生长。 该技术在薄膜厚度的控制、膜厚均匀性、膜层致密性等方面具有无可比拟的优势,被认为是制备高致密度涂层非常有效的方法。
磁控溅射是一种物理气相沉积技术,具有众多优点并广泛应用于多个领域。
工作原理‌:通过在靶阴极表面引入‌磁场,利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度,从而增加溅射率。
真空蒸镀,亦称为蒸镀,是一种在真空环境中通过特定加热方式使镀膜材料(即膜料)蒸发并气化的技术,随后蒸发的粒子在基片表面凝聚,形成薄膜。作为一种较早使用且应用广泛的气相沉积技术,蒸镀以其简便的成膜过程、高纯度和致密性的薄膜、以及独特的膜层结构与性能等特点而备受青睐。 蒸镀的物理机制涉及以下几个步骤:首先是沉积材料的蒸发或升华,转化为气态粒子;接着,这些气态粒子在高速运动中从蒸发源向基片表面迁移;之后,它们在基片表面发生形核和生长,逐渐形成固态薄膜;最后,薄膜中的原子进行重构或形成化学键合。 在这个过程中,基片被置于真空室中,通过电阻加热、电子束、激光等手段对膜料进行加热,促使其蒸发或升华成为具有特定能量(0.1~0.3eV)的气态粒子,这些粒子可以是原子、分子或原子团。气态粒子在几乎无碰撞的直线轨迹上快速移动,抵达基片表面。到达基片的粒子部分被反射,而另一部分则吸附在基片上,并进行表面扩散。在此过程中,沉积的原子在二维空间内相互碰撞,形成微小的粒子团,有些粒子团可能在表面短暂停留后再次蒸发。粒子团不断地与其他扩散的粒子发生碰撞,或者吸附新的单粒子,或者释放已有粒子。随着这一过程的重复进行,当粒子团中的粒子数量达到一定临界值时,它们就会形成稳定的核。这些核随后继续吸附扩散的粒子,逐步增长。最终,随着相邻的稳定核相互接触和合并,形成一个连续的薄膜。